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新產品訊息

2021.12.23 【全新機能】SMART TOOL for 半導體製造設備 ∙ 真空設備 Back to List

SMART TOOL係為充分發揮設備性能而獨立開發之刀具、治具、測量器具、軟體等,為解決客戶加工課題之產品總稱。尤其在個別加工品上,能於影響性能之重要部位的加工製程上發揮其效用,以達到提升品質並減少加工成本。


適用於半導體製造設備真空設備:
超級刮削加工 Super Hale
    6000mm/min 高進給速率,實現高品質高真空密封度表面加工


⬤ 同步旋轉加工裝置 Synchro Spinner
    適用於加工真空腔體、真空閥體密封面之刀具



⬤ 帶式研磨工具 Belt Track Finisher
    維持密封面形狀,將手動研磨製程自動化